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Agilent/HP4156A半导体分析仪
附加功能:
高分辨率/准确度和宽范围。I:1 fA至1 A(20 fA偏移精度),V:1μV至200 V.
采用直流或脉冲模式的全自动IV扫描测量,s多可扩展至6个SMU
同步应力/测量功能,两个高压脉冲发生器单元(±40 V)
时域测量:60μS可变间隔,s多10,001个点
易于使用:旋钮扫描类似于曲线追踪器,自动分析功能
自动化:内置HP Instrument BASIC,触发I / O功能
Agilent HP 4156A是下一代精密半导体参数分析仪。您可以获得s佳的数字扫描参数分析仪,可靠性测试仪,功能强大的故障分析工具和自动化的输入检测站,所有这些都集成在一台仪器中。
这个新系列的设计旨在为评估亚微米几何设备提供精度和功能。使用一台灵活的仪器,您可以从材料评估和器件特性一直到s终的封装零件检测和现场故障分析,从而提高半导体质量。
Agilent HP 4156A提供四个内置源/监视器单元(SMU),两个电压源单元(VSU)和两个电压监视器单元(VMU)。Agilent HP 4156A将电流分辨率扩展至1 fA,精度达到20 fA。Agilent HP 4156A在每个SMU上使用全开尔文遥感。
您可以随时添加Agilent HP 41501A SMU和脉冲发生器扩展器,它配有0 V / 1.6 A接地单元。扩展器可接受两个100 mA / 100 V SMU或一个1 A / 200 V SMU,以及两个特殊同步的40 V / 200 mA /1μs脉冲发生器。
设置和测量
Agilent HP 4156A可以使用许多测量单元(包括HP 41501A中的单元)执行阶梯和脉冲扫描测量以及采样(时域)测量,而无需更改连接。此外,您还可以轻松执行压力测量循环测试,以进行热载流子注入和闪存EEPROM测试等可靠性评估。
通过设置页面并从前面板键,键盘或HP-IB(SCPI命令)填充空白来进行设置和测量。您还可以使用旋钮扫描功能即时测量和查找设置条件,这与曲线跟踪器操作类似。
显示和分析
测量和分析结果显示在彩色CRT上,您可以叠加来自四个图形存储器的存储图形进行比较。许多强大的图形分析工具可以轻松分析和提取许多参数,如hFE和Vth。找到参数提取条件后,可以使用自动分析功能自动获取参数。
输出和存储
设置,测量和分析数据可通过HP-IB或串行接口输出到彩色绘图仪和打印机。您还可以将数据保存为MS-DOS或LIF格式的3英寸磁盘。图形(HP-GL或PCL)输出文件允许您将图形传输到桌面出版软件。
重复和自动化测试
Agilent HP 4156A内置的Agilent HP Instrument BASIC控制器可以使用不带控制器的外部仪器构建自动测量系统。Agilent HP 4156A可通过多种触发I / O功能与外部仪器同步。
长期大量回收频谱分析仪/信号分析仪:E4443A/E4445A/E4440A/E4446A/E4447A/E4448A/N9000A/N9010A/N9020A/N9030A/N9000B/N9010B/N9020B/N9030B/N9040B/FSV13/FSV40/FSVA40/FSW13/FSW26/FSW50
长期大量回收网络分析仪:E5062A、E5061B、E8357A、E8358A、E5071B、E5071C、N5230A、N5230C、N5232A、N5242A、N5244A、N5245A、N5247A、N5245B、N5247B、N5222A、N5224A、N5225A、N5227A、N5242B、N5224B、N5225B、N5227B、E8362A、E8363A、E8363B、E8364A、E8364B、E8364C、E8361A
回收Agilent/HP 4155B 4155C 4156A 4156B 4156C 4157B半导体分析仪